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| 品牌 | 粤佳气体 |
| 货号 | 1333-74-0 |
| 型号 | 1333-74-0 |
| 外观 | 无色气体 |
| 包装规格 | 40升/集装格 |
| 纯度 | 99.999% |
| CAS编号 | |
| 别名 | 5N氢气 |
| 执行质量标准 | GB/T 3634.2-2025 |
| 厂家（产地） | 深圳 |
东莞高纯氢气生产厂 深圳粤佳气体有限公司是粤佳气体集团深圳分公司。深圳粤佳气体主营业务有:工业气体,高纯气体,特种气体,电子气体,稀有气体,食品级气体,液态气体,混合气体,同位素气体,标准气体等产品;多种纯度,多种包装规格。
工业气体:氧气;氮气;氩气;二氧化碳;乙炔;甲烷;氢气;乙烷;丙烯;乙烯。
高纯气体:高纯氦气;高纯氧气;高纯氮气;高纯氩气;高纯二氧化碳;高纯乙炔;高纯甲烷;高纯氢气。
食品级气体:食品级氮气;食品级二氧化碳;食品级氢气。
稀有气体:氦气;氖气;氪气;氙气。
超纯气体:超纯氮气、超纯氩气、超纯氦气。
激光混合气体:二氧化碳激光混合气体;罗芬激光混合气体;准分子激光混合气体(氟化氩气体;氟化氪气体;氟氦混合气)。
同位素气体:氮15;氧18;碳13;氘代气体;氘气等。
液态气体:液氮;液氩;液氧;液态二氧化碳。
氦气/液氦:高纯氦气、超纯氦气、管束氦气、液氦、iso液氦罐。
氢气技术指标：
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组分/杂质 |
氢气/4.0N |
氢气/5.0N |
氢气/6.0N |
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氢气含量 |
99.99% |
99.999% |
99.9999% |
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氧O2含量 |
≤5ppm |
≤1ppm |
≤0.2ppm |
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氮N2含量 |
≤60ppm |
≤5ppm |
≤0.4ppm |
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一氧化碳CO含量 |
≤5ppm |
≤1ppm |
≤0.1ppm |
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二氧化碳CO2含量 |
≤5ppm |
≤1ppm |
≤0.1ppm |
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甲烷含量 |
≤10ppm |
≤1ppm |
≤0.2ppm |
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水分H2O含量 |
≤10ppm |
≤3ppm |
≤0.5ppm |
氢气包装种类
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钢瓶种类 |
气体压力 |
气体体积 |
气体净重 |
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50L钢瓶 |
19.5±0.5MPa |
10000L |
0.8kg |
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40L钢瓶 |
13.5MPa |
5400L |
0.45kg |
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钢瓶接口:QF-30，出口螺纹W21.8×1/14-LH |
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氢气广泛应用于应用于石油、化工、电子、冶金、油脂、航天、轻工业等等领域。
东莞高纯氢气生产厂 高纯氢气导热系数高，在低压环境里传热分布均匀，这个物理特点可以温和调控晶圆表层的界面状态。密闭快速热处理腔体承担隔离外界杂质、精准控温的功能，给高纯氢气创造持续流通的反应空间。作业人员先将完成刻蚀工序的晶圆送入腔体内，对内部空间反复抽排置换，排除残留的含氧化合物，再缓慢通入高纯氢气，稳定控制气体流量与腔室压力，借助高纯氢气和晶圆表层悬挂键结合，钝化界面上的活性位点，工序末尾可通入高纯氧气做短时表层防护。这套处理方式能够降低器件界面的缺陷密度，减少载流子非预期复合现象，助力芯片工艺环节获得更稳定的电学测试结果。
