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| 品牌 | 粤佳气体 |
| 货号 | 7440-37-1 |
| 型号 | 7440-37-1 |
| 外观 | 无色无味气体 |
| 包装规格 | 40升/50升/杜瓦罐/大型槽车 |
| 纯度 | 99.999% |
| CAS编号 | |
| 别名 | 5N氩气 |
| 执行质量标准 | GB/T 4842-2017 |
| 厂家（产地） | 深圳 |
东莞高纯氩气配送公司 深圳粤佳气体有限公司是粤佳气体集团深圳分公司。深圳粤佳气体主营业务有:工业气体,高纯气体,特种气体,电子气体,稀有气体,食品级气体,液态气体,混合气体,同位素气体,标准气体等产品;多种纯度,多种包装规格。
工业气体:氧气;氮气;氩气;二氧化碳;乙炔;甲烷;氢气;乙烷;丙烯;乙烯。
高纯气体:高纯氦气;高纯氧气;高纯氮气;高纯氩气;高纯二氧化碳;高纯乙炔;高纯甲烷;高纯氢气。
食品级气体:食品级氮气;食品级二氧化碳;食品级氢气。
稀有气体:氦气;氖气;氪气;氙气。
超纯气体:超纯氮气、超纯氩气、超纯氦气。
激光混合气体:二氧化碳激光混合气体;罗芬激光混合气体;准分子激光混合气体(氟化氩气体;氟化氪气体;氟氦混合气)。
同位素气体:氮15;氧18;碳13;氘代气体;氘气等。
液态气体:液氮;液氩;液氧;液态二氧化碳。
氦气/液氦:高纯氦气、超纯氦气、管束氦气、液氦、iso液氦罐。
氩气技术指标：
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组分/杂质 |
液氩/5.0N |
纯氩/4.0N |
高纯氩/5.0N |
超纯氩/6.0N |
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氩气含量 |
99.999% |
99.99% |
99.999% |
99.9999% |
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氖Ne |
- |
- |
- |
- |
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氢H2 |
≤0.5ppm |
≤5ppm |
≤0.5ppm |
≤0.1ppm |
|
氧O2 |
≤1.5ppm |
≤10ppm |
≤1.5ppm |
≤0.2ppm |
|
氮N2 |
≤4ppm |
≤50ppm |
≤4ppm |
≤0.5ppm |
|
一氧化碳CO |
≤0.3ppm |
≤5ppm |
≤0.3ppm |
≤0.1ppm |
|
二氧化碳CO2 |
≤0.3ppm |
≤10ppm |
≤0.3ppm |
≤0.1ppm |
|
总碳(甲烷)THC |
≤0.4ppm |
≤5ppm |
≤0.4ppm |
≤0.1ppm |
|
水分H2O |
≤3ppm |
≤15ppm |
≤3ppm |
≤0.2ppm |
氩气包装种类
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钢瓶种类 |
气体压力 |
气体体积 |
气体净重 |
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50L钢瓶 |
19.5±0.5MPa |
10000L |
15.9kg |
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40L钢瓶 |
13.5MPa |
5400L |
8.6kg |
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杜瓦罐 |
0.8MPa |
130~151Nm3 |
214~250kg |
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槽车 |
0.8MPa |
/ |
20吨以上 |
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钢瓶接口:QF-2、PX-32外螺纹/内螺纹,螺纹出口G5/8(外径22.911,牙数为14牙/英寸,螺距为1.814毫米,牙高1.162,小径20.587),CGA580 |
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氩气广泛应用于铝业、炼钢、金属加工、焊接工业、电子、照明、氩气刀等。
东莞高纯氩气配送公司 等离子体刻蚀腔体吹扫依靠高纯氩气化学惰性、分子质量较重的物理特点开展作业。高纯氩气不会和腔体内残留的光刻胶副产物发生反应，较重的分子可以带动细碎颗粒物离开腔体内部空间。腔体供气管路搭配稳压分流组件，用来稳定高纯氩气的通入流量，避免气流扰动让粉尘再次附着在腔壁。操作人员会在单次刻蚀工序结束之后，分段通入高纯氩气，持续维持腔体内部气流循环，同时搭配真空泵同步抽走被气流裹挟的杂质颗粒。持续的吹扫可以减少颗粒物附着在晶圆表面，降低后续芯片线路出现缺陷的概率，也能拉长腔体维护周期，减少设备停机检修占用的生产时长，稳定半导体刻蚀工序的持续运转。
