全国咨询热线：19876107228
|
| 品牌 | 粤佳气体 |
| 货号 | 7440-37-1 |
| 型号 | 7440-37-1 |
| 外观 | 无色气体 |
| 包装规格 | 40升/50升/杜瓦罐/大型槽车 |
| 纯度 | 99.999% |
| CAS编号 | 7440-37-1 |
| 别名 | 5N氩气 |
| 执行质量标准 | GB/T 4842-2017 |
| 厂家（产地） | 深圳 |
东莞高纯氩气供应站 深圳粤佳气体有限公司是粤佳气体集团深圳分公司。深圳粤佳气体主营业务有:工业气体,高纯气体,特种气体,电子气体,稀有气体,食品级气体,液态气体,混合气体,同位素气体,标准气体等产品;多种纯度,多种包装规格。
工业气体:氧气;氮气;氩气;二氧化碳;乙炔;甲烷;氢气;乙烷;丙烯;乙烯。
高纯气体:高纯氦气;高纯氧气;高纯氮气;高纯氩气;高纯二氧化碳;高纯乙炔;高纯甲烷;高纯氢气。
食品级气体:食品级氮气;食品级二氧化碳;食品级氢气。
稀有气体:氦气;氖气;氪气;氙气。
超纯气体:超纯氮气、超纯氩气、超纯氦气。
激光混合气体:二氧化碳激光混合气体;罗芬激光混合气体;准分子激光混合气体(氟化氩气体;氟化氪气体;氟氦混合气)。
同位素气体:氮15;氧18;碳13;氘代气体;氘气等。
液态气体:液氮;液氩;液氧;液态二氧化碳。
氦气/液氦:高纯氦气、超纯氦气、管束氦气、液氦、iso液氦罐。
氩气技术指标：
|
组分/杂质 |
液氩/5.0N |
纯氩/4.0N |
高纯氩/5.0N |
超纯氩/6.0N |
|
氩气含量 |
99.999% |
99.99% |
99.999% |
99.9999% |
|
氖Ne |
- |
- |
- |
- |
|
氢H2 |
≤0.5ppm |
≤5ppm |
≤0.5ppm |
≤0.1ppm |
|
氧O2 |
≤1.5ppm |
≤10ppm |
≤1.5ppm |
≤0.2ppm |
|
氮N2 |
≤4ppm |
≤50ppm |
≤4ppm |
≤0.5ppm |
|
一氧化碳CO |
≤0.3ppm |
≤5ppm |
≤0.3ppm |
≤0.1ppm |
|
二氧化碳CO2 |
≤0.3ppm |
≤10ppm |
≤0.3ppm |
≤0.1ppm |
|
总碳(甲烷)THC |
≤0.4ppm |
≤5ppm |
≤0.4ppm |
≤0.1ppm |
|
水分H2O |
≤3ppm |
≤15ppm |
≤3ppm |
≤0.2ppm |
氩气包装种类
|
钢瓶种类 |
气体压力 |
气体体积 |
气体净重 |
|
50L钢瓶 |
19.5±0.5MPa |
10000L |
15.9kg |
|
40L钢瓶 |
13.5MPa |
5400L |
8.6kg |
|
杜瓦罐 |
0.8MPa |
130~151Nm3 |
214~250kg |
|
槽车 |
0.8MPa |
/ |
20吨以上 |
|
钢瓶接口:QF-2、PX-32外螺纹/内螺纹,螺纹出口G5/8(外径22.911,牙数为14牙/英寸,螺距为1.814毫米,牙高1.162,小径20.587),CGA580 |
|||
氩气广泛应用于铝业、炼钢、金属加工、焊接工业、电子、照明、氩气刀等。
东莞高纯氩气供应站 氩气分子结构稳定，高温环境下不会和硅基底发生化学反应，同时气体流动性良好，可以带走炉腔内部挥发出来的微量副产物。半导体退火炉接入供气管道输送高纯氩气，在升温处理外延片的阶段持续冲刷炉腔空间，置换掉腔体内残留的水汽与氧气。操作人员会在升温前先进行长时间吹扫，把炉内杂质排净，再调节高纯氩气的流量，在整个恒温退火阶段维持稳定气流，降温过程依旧保持高纯氩气流通，直到晶片温度回落至安全区间。这套流程能够降低硅片表面出现氧化层缺陷的概率，减少晶片表面污染，稳定外延层的电学性能，帮助芯片代工企业降低批次间产品参数波动。
